有些真空工藝會產生大量的灰塵，如果灰塵隨被抽氣體進入油封真空泵內混在泵油中，會像研磨劑一樣加速泵腔內零件的磨損，對泵轉子和泵腔造成磨損和破壞，堵塞油路或使泵無法運行，如果灰塵進入真空閥門則會使密封失效而泄漏，因此塵埃的規避和過濾己成為增加
真空腔體的使用壽命，增加生產率的關鍵問題，在有塵埃的真空系統中，要采用塵埃過濾器。
在灰塵量較少時，可以由泵油過濾系統濾除，但灰塵量較大時，為不讓真空泵損壞，讓真空泵的正常運轉要使用除塵器。常用塵埃過濾方式有以下幾種：
（1）旋風離心式。進氣口與筒體成偏心放置，塵埃隨氣流旋轉，因離心力作用而沉降在過濾器的底部。
（2）油淋式。在油泵的作用下，使真空泵油從除塵器的頂部高速噴下，油霧與上升的氣流相互作用吸附，混在氣流中的塵埃與油一起沉降至油池。
（3）油濕介質粘附式。塵埃在氣流作用下碰撞用真空泵油浸濕的介質表面而被粘附，常用介質有環狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等。
（4）介質阻擋式。利用介質的機械阻擋作用過濾塵埃，常用介質有金屬絲網、天然或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等。
（5）靜電吸附式。利用真空中氣輝光放電形成等離子體，塵埃在等離子體中附著電荷，在電場力作用下被驅向電極表面而被捕集。
（6）混合式。將以上幾種過濾形式進行組合形成混合的過濾形式。
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